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實驗室簡介
by hilbert, 2008-07-03 23:45:23, 人氣(3092)
 

研究方向
 
在幾年有計畫的規劃下,實驗室研究能量已漸趨完備,為一活力充沛、發展潛力雄厚的實驗室。由實驗室團隊的努力與奮鬥微機電系統晶片相關的研究。目前主要研究方向在於探討CMOS MEMS元件,探討其光、電特性。目前已有相當的基礎及成果。
 
  人機協同智慧製造技術發展 (可以點選有影片簡介)
 
 

人機協同自動化,研發創新的技術包含

1. 具有學習能力之自動化設備,開發人員辨識動作辨識於自動化送料與加工程序。

2. 技術的延伸性:採用嵌入式系統執行人工智慧(邊緣運算)結合PLC控制程序以及整合機械視覺技術,可以轉移至更多符合工廠所需要其他的應用。

3. 技術的相容性:希望計畫所開發的相容於現有機台之設計,結合現有半自動機構與治具,以簡易控制人機介面完成目前需求
 
   微機電系統晶片發展 (可以點選有影片簡介)

製作流程:設計佈局→CIC 下線製作(TSMC IC 製程)→後製程處理(奈米科技中心)


               設計與製作環境

                      1. 利用工作站(sun)設計佈局

                           工作站軟體說明            

                             (1) MEMS 設計   A. Laker 劃圖佈局       B. Calibre 佈局除錯

                             (2) 類比 IC 設計  A. HSPICE 電路模擬   B. Cadence 劃圖佈局

                             (3) 數位 IC 設計  A. Verilog 程式撰寫     B. Astro 轉數位佈局圖

                       2. CIC 下線製作:製程為 TSMC 標準 CMOS 製程→2P4M 0.35μm 0.18μm 0.13μm

                       3. 後製程處理:奈米科技中心→後製程

                             (1). 乾式蝕刻→ICP   (2). 顯式蝕刻→TMAH、KOH、EDP

            

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