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透明導電薄膜
by ielinyc, 2015-06-19 21:56:44, 人氣(1097)

透明導電膜材料與製程  詳細資料.pdf

 

1.  透明導電膜材料

薄膜材料在可見光範圍內(波長380-780 nm)具有80%以上的透光率,電阻值低於1×10-3Ωcm,則可稱為透明導電薄膜[16]。隨著時代的進步,各種電子產品不斷推陳出新,因應製程上的需要,許多半導體材料不斷被開發與應用,尤其在光電產業中,透明導電膜由於兼具透明與導電兩種特性,近年來的應用領域及需求量不斷地擴大。

      製備透明導電膜的材料大致上可歸納為兩類[16,17],一類是薄金屬膜,另一類是金屬氧化物膜,茲分述如下..
 
 

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