透明導電薄膜
透明導電膜材料與製程 詳細資料.pdf
1. 透明導電膜材料
薄膜材料在可見光範圍內(波長380-780 nm)具有80%以上的透光率,電阻值低於1×10-3Ωcm,則可稱為透明導電薄膜[16]。隨著時代的進步,各種電子產品不斷推陳出新,因應製程上的需要,許多半導體材料不斷被開發與應用,尤其在光電產業中,透明導電膜由於兼具透明與導電兩種特性,近年來的應用領域及需求量不斷地擴大。
製備透明導電膜的材料大致上可歸納為兩類[16,17],一類是薄金屬膜,另一類是金屬氧化物膜,茲分述如下..

附件
發表討論