薄膜工程_上課進度/講義
週次 |
教 材 單 元 與 進 度 |
一 |
Introduction |
二 |
Review of material science |
三 |
Vacuum sciences and technology |
四 |
Vacuum sciences and technology |
五 |
Physical vapor deposition |
六 |
Physical vapor deposition |
七 |
Physical vapor deposition |
八 |
Physical vapor deposition |
九 |
Chemical vapor deposition |
十 |
期中考 |
十一 |
Thin film analysis- EDS/XRF/ICP |
十二 |
Thin film analysis- SEM/TEM |
十三 |
Thin film analysis-XRD/Raman/AFM |
十四 |
實作 |
十五 |
實作 |
十六 |
實作 |
十七 |
實作 |
十八 |
期末報告or實作測驗 |
三、指定教材或參考書目: 1. Milton Ohring, Materials Science of Thin Films, Second Edition,
October 29, 2001, 本校圖書館有電子書 |
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四、教學方式: 1. 授課 2實作 |
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五、成績評量方式﹕ 1. 期中考 50% 2. 期末報告or test 30% 3. 其他(出席)
20% |
附件
1. Chap 0.pdf (417 KB)
2. Chap1.pdf (734 KB)
3. Chap2a.pdf (1.2 MB)
4. Chap2b.pdf (2 MB)
5. Chap3a.pdf (655 KB)
6. Chap3b.pdf (1.4 MB)
7. Chap4.pdf (868 KB)
8. Chap5.pdf (1.8 MB)
9. Chap6.pdf (2.4 MB)
2. Chap1.pdf (734 KB)
3. Chap2a.pdf (1.2 MB)
4. Chap2b.pdf (2 MB)
5. Chap3a.pdf (655 KB)
6. Chap3b.pdf (1.4 MB)
7. Chap4.pdf (868 KB)
8. Chap5.pdf (1.8 MB)
9. Chap6.pdf (2.4 MB)
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