週次

教 材 單 元 與 進 度

一

Review of material science

二

Review of material science

三

Vacuum sciences and technology

四

Vacuum sciences and technology

五

Physical vapor deposition

六

Physical vapor deposition

七

Physical vapor deposition

八

Physical vapor deposition

九

期中考

十

Thin film analysis- EDS/XRF/ICP

十一

Thin film analysis- SEM/TEM

十二

Thin film analysis-TEM

十三

Thin film analysis-XRD/Raman/

十四

Thin film analysis-Stress/AFM

十五

實作

十六

實作

十七

實作

十八

期末報告or test

三、指定教材或參考書目：

四、教學方式：

1. 授課     2實作

五、成績評量方式﹕

1. 期中考 60%     2. 期末報告or test 30%    3. 其他（出席） 10%