週次

教 材 單 元 與 進 度

一

Introduction

二

Review of material science

三

Vacuum sciences and technology

四

Vacuum sciences and technology

五

Physical vapor deposition

六

Physical vapor deposition

七

Physical vapor deposition

八

Physical vapor deposition

九

期中考

十

Discharge and plasma

十一

Discharge and plasma

十二

Discharge and plasma

十三

Chemical vapor deposition

十四

實作

十五

實作

十六

實作

十七

實作

十八

期末報告or test

三、指定教材或參考書目：

1. Milton Ohring, Materials Science of Thin Films, Second Edition, October 29, 2001, 歐亞書局代理, 02-89121188

2. 羅吉宗, 薄膜科技與應用(第四版), 2013/03/18, 全華圖書

四、教學方式：

1. 授課     2實作

五、成績評量方式﹕

 1. 期中考 60%     2. 期末報告or test 30%    3. 其他（出席） 10%