週次

教 材 單 元 與 進 度

一

Introduction

二

Review of material science

三

Vacuum sciences and technology

四

Vacuum sciences and technology

五

Physical vapor deposition

六

Physical vapor deposition

七

Physical vapor deposition

八

Physical vapor deposition

九

Chemical vapor deposition

十

期中考

十一

Thin film analysis- EDS/XRF/ICP

十二

Thin film analysis- SEM/TEM

十三

Thin film analysis-XRD/Raman/AFM

十四

實作

十五

實作

十六

實作

十七

實作

十八

期末報告or實作測驗

三、指定教材或參考書目：

1. Milton Ohring, Materials Science of Thin Films, Second Edition, October 29, 2001, 本校圖書館有電子書

2. 羅吉宗, 薄膜科技與應用(第四版), 2013/03/18, 全華圖書

四、教學方式：

1. 授課     2實作

五、成績評量方式﹕

1. 期中考 50%     2. 期末報告or test 30%    3. 其他（出席） 20%