薄膜工程_上課進度/講義
週次 |
教 材 單 元 與 進 度 |
一 |
Introduction |
二 |
Review of material science |
三 |
Vacuum sciences and technology |
四 |
Vacuum sciences and technology |
五 |
Physical vapor deposition |
六 |
Physical vapor deposition |
七 |
Physical vapor deposition |
八 |
Physical vapor deposition |
九 |
Chemical vapor deposition |
十 |
期中考 |
十一 |
Thin film analysis- EDS/XRF/ICP |
十二 |
Thin film analysis- SEM/TEM |
十三 |
Thin film analysis-XRD/Raman/AFM |
十四 |
實作 |
十五 |
實作 |
十六 |
實作 |
十七 |
實作 |
十八 |
期末報告or實作測驗 |
三、指定教材或參考書目: 1. Milton Ohring, Materials Science of Thin Films, Second Edition,
October 29, 2001, 本校圖書館有電子書 |
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四、教學方式: 1. 授課 2實作 |
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五、成績評量方式﹕ 1. 期中考 50% 2. 期末報告or test 30% 3. 其他(出席)
20% |
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